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Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE
·适用于8"以下样品的处理
·等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀
·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布
·电极水冷确保了样品的温度不会偏高
·工业Windows控制系统，多段程序控制功能，实现一键蚀刻功能
·适合于研究院、高校、研发中心等使用，也可小批量生产
型号 | TETRA 8 RIE |
控制系统 | 基于软件WINDOWS 10的PC控制系统 |
程序存储 | 100套 |
工艺过程监控 | 二维折线图与数字实时显示 |
参数偏离值设定 | 初抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出值 |
报错功能 | 显示详细的报错信息 |
数据导入导出 | USB/TCP IP |
选程控制 | Team viewer |
工艺气路 | 两路进气通道（两路腐蚀性气体） 一路冲洗管路 一路泄气管路 |
流量计 | MFC流量计 |
真空腔体 | 圆形不锈钢腔体腔体 尺寸：Φ280mm x D 127mm 约8L 腔体可做防腐 |
托盘 | 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃 |
电极 | RIE(蚀刻专用)电极配有气浴 电极水冷 |
冷却系统 | 冷却真空腔体和电极 |
发生器 | 13.56 MHz 0-600W 自动匹配 |
安全开关 | 门开关、皮拉尼开关、真空开关 |
真空压力计 | 2pcs 电容式真空计 |
外形尺寸(W×H×D) | 1800mm×2200mm×1800mm |
电源 | AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A |
真空泵 | 防腐真空泵抽速不低于90 m3/h 分子泵排气速度 |
冷却系统 | 冷水机对真空腔体，电极进行冷却 |
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