首页 >> 供求商机
Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE
·适用6寸以下样品的处理
·用于塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式，实现控制高机能
·桌上型，省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用
·表面清洗活化
·表面蚀刻
型号 | FEMTO RIE(防腐)*1 | FEMTO RIE(防腐)*1 |
控制方式 | 按键操作控制 | Windows CE 7"触摸屏操作控制 |
操作方式 | 手动 | 手动/自动 |
程序存储 | — | 50组 |
工艺过程监控 | — | 二维折线图与数字实时显示 |
程序偏离值 | — | 抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出 |
报错功能 | — | 显示详细的报错信息 |
数据导入导出 | — | USB |
选程控制 | — | 选配 |
工艺气路 | 单路，双路，三路 | |
工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 | |
流量计 | 针阀流量计（可选防腐针阀流量计）*1 | MFC流量计（可选防腐MFC流量计）*1 |
冲洗气路 | 一路 | |
泄气气路 | 一路 | |
真空计 | 指针式/0-10mbar | 数字式/0-9.99mbar |
计时器 | 0~999.9H | |
真空腔体 | 不锈钢圆形腔体 盖子门带观察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L | |
电极 | 不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm | |
发生器 | 40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W | |
外形尺寸（WxDxH） | 560 x 600 x 860mm | |
电源 | AC230 V / 16 A | |
真空泵 | 排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa | |
选配功能 | 托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲 | |
5