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Diener 等離子表面處理儀 Tetra100
  • Diener 等離子表面處理儀 Tetra100
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-12-02 08:19:32瀏覽次數(shù):2288評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁
外形尺寸 600x850x1700 工藝氣體 O2、Ar、N2、CO、H2、Air、CF4、NH3、SF6
流量計 MFC數(shù)字氣質(zhì)流量計 不銹鋼真空腔體尺寸 W400xD625xH400/100L
鋁合金真空腔體尺寸 W400xD625xH400/100L 真空壓力計 皮拉尼傳感器(0~9.99mbar)
Diener 等離子表面處理儀 Tetra100特點:
·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

特點:

·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

 

Diener 等離子表面處理儀 Tetra100技術(shù)規(guī)格:

型號

Tetra 100

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)

BASIC PC

FULL PC

操作系統(tǒng)

Windows CE

Windows 10

觸摸屏

3.5/7”

7/15”

工藝氣體

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工藝氣路

1-3路(可選)

1-10路(可選)

流量計

MFC /防腐型MFC

真空腔體

不銹鋼W400xD625xH400/100L

鋁合金W400xD625xH400/100L

電極

材質(zhì)

鋁/不銹鋼電極

層數(shù)(可選)

1-10(可選)

1-2

1-5

發(fā)生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

真空壓力計(mba)

皮拉尼傳感器(0-9.99)

托盤

不銹鋼/鋁

實板/鏤空

層數(shù)

1-10(可選)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

電源

AC400 V / 16 A

真空泵抽氣速度

根據(jù)工藝選擇

選配件

單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

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