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無(wú)油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用

閱讀:2210      發(fā)布時(shí)間:2021-11-8
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在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn):


①. 無(wú)油,無(wú)摩擦——真空腔內(nèi)無(wú)油,非接觸,無(wú)磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;

②. 抽氣量大——雙渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;

③. 抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;

④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動(dòng)小;

⑤. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,相同尺寸下,運(yùn)動(dòng)半徑小,運(yùn)行平穩(wěn);

⑥. 體積小,維修方便,維護(hù)費(fèi)用低;

⑦. 采用空氣冷卻,無(wú)需水冷。

 

 

無(wú)油渦旋真空泵應(yīng)用在

①. 半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;

②. 科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器;

③. 機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備;

④. 化學(xué)工業(yè);

⑤. 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備;

⑥. 包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

 

無(wú)油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成:

①. 動(dòng)靜渦旋盤付與基座;

②. 曲軸;

③. 密封墊;

④. 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);

⑤.電機(jī)。


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