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測(cè)量顯微鏡的技術(shù)參數(shù)

閱讀:3108      發(fā)布時(shí)間:2020-12-9
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       測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。

技術(shù)參數(shù):

1、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米,微動(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米,高(Z)測(cè)量:范圍1毫米,讀數(shù)min0.001毫米(比較測(cè)量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45度;

2、工作臺(tái):左右(X軸):移動(dòng)范圍25毫米,前后(Y軸):移動(dòng)范圍25毫米,分辨率:1微米,旋轉(zhuǎn):360度;

3、照明系統(tǒng):光源:透射照明,8V12W 藍(lán)、綠色濾光片、反射照明,8V12W 磨沙燈泡、綠色透光片、斜 照 明、8V12W綠色濾光片、電源:AC220±22V 50/60Hz;

4、光學(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X;物鏡:4X、工作距離17.5、焦距28.8,10X、工作距離11.6、焦距15.4,40X、工作距離0.66、焦距4.4;

5、X---Y軸測(cè)量范圍:50×13mm;

6、測(cè)微器分度值:0.01mm;

7、圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍:0°/360°;

8、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度:儀器示值誤差±(5+L/15);

9、放大倍數(shù) 25×/100×

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