氢气

氢气纯度

99.9995%

流速选项

100, 200, 300, 450cc/min

出气压力

0- 100psi/ 0- 6.9 bar

进水纯度要求

电导率 < 1.0 μS-cm / 电阻率 > 1.0M Ω-cm 

氮气

氮气纯度

99.9995%

碳氢化合物含量（以甲烷来计算）

<0.05ppm

流速选项

250, 600cc/min

出气压力

0-80psi

进气要求

进气压力在 120-145psi 之间

零级空气

碳氢化合物含量（以甲烷来计算）

<0.05ppm

颗粒

<0.01μm

流速选项

1,500, 3,500cc/min

出气压力

0-80psi

进气要求

Minimum 1.5 or 3.5 l/min at 90-145psi

空压机

为氮气发生器和零级空气发生器提供进口空