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技術(shù)文章

真空烘箱真空泵類型一覽表

點擊次數(shù):202 發(fā)布時間:2025-4-7

真空烘箱的真空泵類型及特點

真空泵是真空烘箱的核心部件,其類型直接影響烘箱的極限真空度、抽氣速率及適用場景。以下是常見的真空泵類型及其特點:


一、機械式真空泵

1. 旋片式真空泵

  • 原理:通過轉(zhuǎn)子與定子間的偏心結(jié)構(gòu),利用旋片滑動壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低、抽氣速率快(適合中真空范圍)。

    • 缺點:需定期更換真空泵油,高溫下油易碳化,反油可能污染樣品。

  • 適用場景:實驗室常規(guī)干燥、低溫烘干(<100℃)。

2. 羅茨泵(機械增壓泵)

  • 原理:通過兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:抽氣速率高、耐高溫、無油污染。

    • 缺點:需搭配前級泵(如旋片泵)使用,單獨無法達到高真空。

  • 適用場景:工業(yè)級高溫烘干、高真空需求(如10?3 Pa)。

3. 滑閥泵

  • 原理:通過滑閥在氣缸內(nèi)往復運動壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:耐粉塵、耐腐蝕,適合含少量顆粒的氣體。

    • 缺點:結(jié)構(gòu)復雜,維護成本高。

  • 適用場景:含溶劑蒸氣或粉塵的烘干工藝。


二、干式真空泵

1. 爪式泵

  • 原理:通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)的爪型轉(zhuǎn)子壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:無油污染、耐高溫、低噪音。

    • 缺點:價格較高,抽氣速率低于旋片泵。

  • 適用場景:醫(yī)藥、電子等對潔凈度要求高的行業(yè)。

2. 螺桿泵

  • 原理:通過一對螺桿轉(zhuǎn)子嚙合壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:無油、抽氣速率高、運行穩(wěn)定。

    • 缺點:成本高,需專業(yè)維護。

  • 適用場景:連續(xù)生產(chǎn)、高溫烘干(>150℃)。

3. 渦旋泵

  • 原理:通過動渦旋盤與靜渦旋盤的相對運動壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:無油、體積小、噪音低。

    • 缺點:抽氣速率低,適合小流量應(yīng)用。

  • 適用場景:實驗室小型烘箱、精密儀器。


三、分子泵

  • 原理:通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體分子定向排出。

  • 特點

    • 優(yōu)點:極限真空度高(可達10?? Pa)、無油污染。

    • 缺點:需搭配前級泵使用。

  • 適用場景:超高真空烘干(如半導體、納米材料)。


四、其他類型真空泵

1. 擴散泵

  • 原理:通過高溫油蒸汽攜帶氣體分子排出。

  • 特點

    • 優(yōu)點:極限真空度高(10?? Pa)。

    • 缺點:需定期更換泵油,啟動時間長。

  • 適用場景:科研級高真空烘干。

2. 液環(huán)泵

  • 原理:通過葉輪旋轉(zhuǎn)在泵體內(nèi)形成液環(huán)壓縮氣體。

  • 特點

    • 優(yōu)點:耐腐蝕、抽氣速率穩(wěn)定。

    • 缺點:需消耗大量工作液(如水)。

  • 適用場景:含腐蝕性氣體的烘干工藝。


五、不同真空泵的對比總結(jié)


類型極限真空度抽氣速率油污染維護成本適用場景
旋片泵10?2 Pa實驗室常規(guī)干燥
羅茨泵10?1 Pa
工業(yè)級高溫烘干
爪式泵10?3 Pa醫(yī)藥、電子潔凈烘干
分子泵10?? Pa半導體、納米材料超高真空烘干
擴散泵10?? Pa科研級高真空烘干



六、選型建議

  1. 低溫烘干(<100℃):優(yōu)先選擇旋片泵或干式泵(如爪式泵)。

  2. 高溫烘干(>150℃):推薦羅茨泵+旋片泵組合或螺桿泵。

  3. 潔凈度要求高:選用干式泵(如爪式泵、螺桿泵)。

  4. 超高真空需求:必須搭配分子泵或擴散泵。

提示:實際選型需根據(jù)工藝需求、預(yù)算及維護能力綜合評估,必要時可聯(lián)系廠家進行技術(shù)咨詢。


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