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产品简介
半导体电阻率型号综合测试仪是专用于各种半导体材料包括片状硅料、硅晶体等的型号和电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99Ωcm，是生产厂家硅料分选测试的理想工具。
详细介绍
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产品概述详细
详细资料：
半导体电阻率型号综合测试仪是于各种半导体材料包括片状硅料、硅晶体等的型号和电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99Ωcm，是生产厂家硅料分选测试的理想工具。
一．1.电阻率主要技术指标:
可测晶片直径（zui大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。
数字电压表：输入信号量程：0～200mV,zui大分辨率：100μV
电阻率显示：三位半数字显示：小数点、极性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米
输入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
测量精度：±5%。
zui大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
重掺检测误差（JJG508-87进行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
测量环境：温度23±2℃，相对湿度≤65%
2、操作程序：
1、先连好电源，打开后面板电源开关，电源指示灯亮，表示待机完毕。
2、校准设备：厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪
3、测试：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可，
4校验：在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备，
3、针组件;维护及注意事项:
1、一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外,针的维护主要包括针头的更换和针头的清理清洁工作
2、维护后的安装及维护过程中,须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列。
二、P/N型号判别功能:
1．判别半导体硅材料导电类型（P/N）；
2．准确判定电阻率为0.1Ω.cm和0.5Ω.cm以下的重掺硅料；
使用与操作说明：
1.面板功能
仪器面板主要由导电类型字符（P/N）数码显示，重掺档位选择开关及其声讯指示，电源指示和探测信号输入输出组件。
2.操作步骤
先连接好电源，打开后面板电源开关，红色指示灯显示，表示待机完毕。接着进行重掺档位设定：如果选择开关设置I档表示检测硅料电阻率为0.1Ω.cm以下的重掺；以重掺样块检测，此时红色指示灯应点亮，同时蜂鸣报警指示。如果选择开关设置于Ⅱ档表示检测硅料电阻率为0.5Ω.cm以下的重掺；以重掺样块检测，此时红色指示灯应点亮，同时蜂鸣器报警指示。
3.功能识别
本仪器采用的LED数码管显示，既可以直观的指示待测硅料型号，又可以对其电阻率大小进行错率的界定。
4.注意事项
在判别过程中测试速度和频次不宜过高，同时尽量保持探头与料块垂直，以探针良好接触料块后的稳定显示字符为准。