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上海添時科學(xué)儀器有限公司

用VTC-200對銅箔的表面進行涂膜

時間:2021-12-3 閱讀:1540
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實驗材料:厚度0.5㎜的銅箔、透明無機溶膠,實驗樣品如圖1所示


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銅箔

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無機溶膠


 圖1 實驗所用樣品圖

材料特性:銅箔質(zhì)軟,容易褶皺;透明無機溶膠具有較大的粘性,不易甩開。

實驗?zāi)康模涸阢~箔表面涂覆一層厚度均勻的薄膜

實驗設(shè)備:VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機,實驗所用設(shè)備如圖2所示:


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VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

圖2 實驗所用設(shè)備圖

實驗所用設(shè)備特點:

      VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,可利用高速旋轉(zhuǎn)的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。該機使用真空吸盤將樣品固定在載樣盤上,具有兩段程序控制速度。第一段程序?qū)⒃O(shè)備轉(zhuǎn)速設(shè)置在較低的范圍內(nèi),在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設(shè)置一定的注膠時間對樣品進行注膠;第二段程序注膠結(jié)束后涂膜機在最短時間內(nèi)提升轉(zhuǎn)數(shù)至第二段所設(shè)置的轉(zhuǎn)數(shù)進行勻膠,在勻膠之前要對勻膠時間進行設(shè)置,當(dāng)勻膠結(jié)束后機器自動停止運轉(zhuǎn),涂膜的整個過程結(jié)束。可利用高速旋轉(zhuǎn)的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。

設(shè)備參數(shù):

  時間設(shè)置范圍:1s-600s;轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm;

  可設(shè)置兩步涂膜程序,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性為±1%,使涂膜更加均勻。

  SPD1轉(zhuǎn)速:500-6000 rpm有效;T1時間:1--600s有效。

  SPD2轉(zhuǎn)速:500-6000 rpm有效;T2時間:1--600s有效。

  載樣盤直徑:φ150mm,適用于尺寸6英寸、8英寸樣片及其它尺寸樣片的涂膜。

實驗過程:

      首先將5㎜厚的銅箔固定在1㎜厚的方形玻璃片上,然后將固定有銅箔的玻璃片放到吸盤中間的位置,放置玻璃片的時候盡量找好正中心,以免高速旋轉(zhuǎn)的過程中造成飛片。實驗過程中為了設(shè)備清理方便可在機器腔體內(nèi)貼附一層塑料薄膜,試驗后可直接撕下。放置帶有銅箔的玻璃片的設(shè)備如圖3所示,

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圖3 放置基片的設(shè)備圖

      放置好試樣后對設(shè)備進行程序設(shè)置,一段:SPD1  500rpm  T1  15s;二段:SPD1  1500rpm  T2  45s。設(shè)置好程序后將膠液擠出一定量到基片表面,然后蓋好上蓋,開啟設(shè)備對基片進行涂膜。在第一段速度時,涂膜機在較低轉(zhuǎn)速下進行勻膠,使膠液在基片表面鋪展開;在第二段速度時在較高旋轉(zhuǎn)速度下使基片表面的膠體迅速甩開,將多余的膠液甩倒基片外面,然后在基片表面形成具有一定厚度的薄膜。程序運行結(jié)束后,將樣品移下并自然干燥,干燥后的試樣如圖4所示;


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圖4 干燥后的試樣圖

        用肉眼可見,薄膜在基片表面均勻分布,若要了解試樣的確切厚度,可使用TFMS-IV型高精度反射膜厚儀對試樣表面厚度進行測量。


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