美国派克parker派克高压不锈钢隔膜阀产品介绍：

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统

作为仪器仪表流体控制系统技术的行业*，派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性，高循环寿命，以及低的粒子生成，从真空应用到3500 psig压力范围可用。它适用于超高压半导体应用，包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统（VMBS）。 

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀可以选择手动或气动操作。这两个选项都是内部无弹簧和无螺纹设计，这使颗粒产生和捕获更小化，从而减少了过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片的应力，提供稳定和免维护的使用寿命。该阀还具有压缩构件，其均匀地加载密封件，而不需要螺纹部件或压接操作。

945系列不锈钢隔膜阀沾湿组件由特殊金属制造，以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体是由Veriflo的的内部电解抛光316L不锈钢材质生产而成。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 这些选项中选择，这允许945系列用于广泛的危险和惰性工艺流体。这些材料，结合阀门严格的设计特点，在工作压力高达3500 psig时，具有很高的耐腐蚀性和优良的稳定性。气动选项可以配置为提供具有限位开关的开闭位置指示。

945个系列不锈钢隔膜阀门都是在100级洁净室制造的。内部（阀座）密封和金属外部密封是使用质谱仪氦气泄漏测试，以实现在要求UHP超高纯应用环境的使用性能和稳定性。 

市场应用： 
• 半导体生产 
• 分析实验室 
• 药物分析，生产 
• 生物危害 
• 航空航天 
• 工业生产

特点/优势： 
• 在管材上加工，这允许改进尺寸控制。 
• 5微米（Ra）电抛光表面光洁度 
• 高循环寿命（包括腐蚀性应用工况） 
• 内部无弹簧和无螺纹设计使颗粒产生和气体捕获更小 
• 全功能化设计从真空到300psig可用
• 内部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC 
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG?？９仄疉OP执行压力（大值） 

典型应用： 
• 腐蚀性和特殊性气体 
• 半导体设备 
• 半导体设备二次配管
• 气体控制柜 
• 阀门分配箱系统（VMB）

Vespel® 是杜邦性能弹性体L.L.C的注册商标。 
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的商标。 
PEEK™ 聚醚醚酮是维克特斯PLC的商标。

美国派克parker派克高压不锈钢隔膜阀性能特点：

阀体材料 VeriClean? 316L不锈钢
压缩构件材料 316L 不锈钢 (标准配置) 或哈氏合金 
隔膜材料 Elgiloy® 或等效材质
阀座材料 PCTFE (std), PEEK? or Vespel®
帽材料 17-4 Stainless Steel
螺母材料 316L Stainless Steel
壳体材料 阳极氧化铝
可承受压力 5,250 psig (362 barg) (AOPHP, I, L, M, S)188 psig (13 barg) (G)
爆破压力 10,500 psig (724 barg) (AOPHP, I, L, M, S)375 psig (26 barg) (G)
流速 Cv 0.25 (AOP, G, S, I)Cv 0.18 (杆式手柄)
内部泄漏率 ≤ 1 X 10-9 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 X 10-10 scc/sec He
表面处理 5 micro inch Ra
体积 1.26 cm3
重量 0.9 lb
0.42 kg
大入口额定压力 3500 psig / 241 barg (AOPHP, I, L, M, S) 125 psig / 8.6 barg (G)
小入口额定压力 真空度
启动压力 75 psig (5 barg) 通常压力值
入气口连接尺寸 1/8-27 NPT
高运行温度 66 °C
150 °F
低运行温度 -40 °C
-40 °F

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