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广州岭江光学科技有限公司
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重庆光电COIC-重光MA3000大平台工业显微镜
  • 重庆光电COIC-重光MA3000大平台工业显微镜

货物所在地:北京北京市

更新时间:2025-04-25 21:00:08

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伴随着半导体工业的发展,我国半导体圆晶生产已从较小的尺寸发展到现在的8英寸(200mm),MA3000就是为了适应大芯片检测而开发的新产品。MA3000配备反射照明光学系统,反射式暗场和偏光系统,使它可用在相同尺寸的半导体掩模板,液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验场合。

伴随着半导体工业的发展,我国半导体圆晶生产已从较小的尺寸发展到现在的8英寸(200mm),MA3000就是为了适应大芯片检测而开发的新产品。MA3000配备反射照明光学系统,反射式暗场和偏光系统,使它可用在相同尺寸的半导体掩模板,液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验场合。

仪器特性:

  1. l 200mmX200mm带快速离合器大行程载物台
  2. l 视场数∮22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差物镜
  3. l 落射光明场、暗场及偏光可快速转换
  4. l 机架经计算机《有限元》分析处理,有高稳定性及抗振性
  5. l 轴承钢淬火后精密加工的滚柱导轨,使仪器具有稳定的使用精度及高的可靠性
  6. l 采用人机工程学的设计理念,调焦手轮前置,使之操作舒适。

高质量的光学系统,确保仪器在对各试样检验时均能获得良好的成像质量。

无限远校正像差长距平场消色差物镜

MA3000配用了本公司开发的视场数 22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差系列物镜。对各种被检测的试样均能获得优良的成像质量。物镜的超长工作距离,可避免物镜与试样相碰而损伤试样或物镜

在反射照明光路中,明场、暗场和偏光可快速转换

MA3000配有明场和暗场共用的物镜,只要拉动拉杆,即可明场暗场转换;只需插入或拉出起偏器和检偏器,即可偏光转换,操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系统

MA3000采用完善的柯拉照明系统,在整个视场内照明均匀。

MA3000大平台工业显微镜配套表

 

 

MA3000

MA3020

附  注

1

反射式工业检验显微镜主机

 

反射式,手动转换器,偏光附件

2

透反射式工业检验显微镜主机

 

透反射式,手动转换器,偏光附件

3

载物台

200X200行程,有快速离合装置

4

玻璃载物板

200X200

5

灯箱组

●●

12V50W反射光用光源

6

30°倾斜双目组

 

7

五孔手动转换器

两只装暗场物镜的大孔,三个装明场物镜的小孔

8

4×长距平场物镜

LPL 4X/0.10    ∞        工作距离 27.236mm

9

10×长距平场物镜

LPL 10X/0.25   ∞        工作距离 18.48mm

10

20×长距平场物镜

LPL 20X/0.40   ∞      工作距离 8.35mm

11

40×长距平场物镜

LPL 40X/0.65   ∞      工作距离 3.895mm

12

50×长距平场物镜

LPL 50X/0.70   ∞      工作距离 1.95mm

13

80×长距平场物镜

LPL 80X/0.80   ∞      工作距离 0.848mm

14

10X长距平场暗场物镜

D LPL 10X/0.25  ∞      工作距离 18.48mm

15

20X长距平场暗场物镜

D LPL 20X/0.40  ∞      工作距离 8.35mm

16

40X长距平场暗场物镜

D LPL 40X/0.65  ∞      工作距离 3.895mm

17

50X长距平场暗场物镜

D LPL 40X/0.70  ∞      工作距离 1.95mm

18

80X长距平场暗场物镜

D LPL 40X/0.80  ∞      工作距离 0.848mm

19

4X平场物镜

 

PL 4X/0.10   ∞/0.17

20

10X平场物镜

 

PL 10X/0.25   ∞/0.17

21

20X平场物镜

 

PL 20X/0.66   ∞/0.17

22

40X平场物镜

 

PL 4X/0.10   ∞/0.17

23

100X平场物镜

 

PL 100X/1.25oil  ∞/0.17

24

10×大视野目镜

●●

●●

WF10×-22

25

16×大视野目镜

○○

○○

WF16×-16

26

黄、绿、兰、中性滤色片

各一

27

毛玻璃片

 

28

35mm摄影接筒

 

29

2.5X摄影负目镜

 

30

CCD摄像机接头

显微镜与DV02或视频摄像机联接用

注:●为*件,○为可选件。

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