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伴随着半导体工业的发展，我国半导体圆晶生产已从较小的尺寸发展到现在的8英寸（200mm），MA3000就是为了适应大芯片检测而开发的新产品。MA3000配备反射照明光学系统，反射式暗场和偏光系统，使它可用在相同尺寸的半导体掩模板，液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验场合。

仪器特性：

l 200mmX200mm带快速离合器大行程载物台
l 视场数∮22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差物镜
l 落射光明场、暗场及偏光可快速转换
l 机架经计算机《有限元》分析处理，有高稳定性及抗振性
l 轴承钢淬火后精密加工的滚柱导轨，使仪器具有稳定的使用精度及高的可靠性
l 采用人机工程学的设计理念，调焦手轮前置，使之操作舒适。

高质量的光学系统，确保仪器在对各试样检验时均能获得良好的成像质量。

无限远校正像差长距平场消色差物镜

MA3000配用了本公司开发的视场数 22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差系列物镜。对各种被检测的试样均能获得优良的成像质量。物镜的超长工作距离，可避免物镜与试样相碰而损伤试样或物镜

在反射照明光路中，明场、暗场和偏光可快速转换

MA3000配有明场和暗场共用的物镜，只要拉动拉杆，即可明场暗场转换；只需插入或拉出起偏器和检偏器，即可偏光转换，操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系统

MA3000采用完善的柯拉照明系统，在整个视场内照明均匀。

MA3000大平台工业显微镜配套表

		MA3000	MA3020	附注
1	反射式工业检验显微镜主机	●		反射式,手动转换器,偏光附件
2	透反射式工业检验显微镜主机		●	透反射式,手动转换器,偏光附件
3	载物台	●	●	200X200行程,有快速离合装置
4	玻璃载物板	●	●	200X200
5	灯箱组	●	●●	12V50W反射光用光源
6	30°倾斜双目组	●	●
7	五孔手动转换器	●	●	两只装暗场物镜的大孔,三个装明场物镜的小孔
8	4×长距平场物镜	●	●	LPL 4X/0.10 ∞ 工作距离 27.236mm
9	10×长距平场物镜	●	●	LPL 10X/0.25 ∞ 工作距离 18.48mm
10	20×长距平场物镜	●	●	LPL 20X/0.40 ∞ 工作距离 8.35mm
11	40×长距平场物镜	●	●	LPL 40X/0.65 ∞ 工作距离 3.895mm
12	50×长距平场物镜	●	●	LPL 50X/0.70 ∞ 工作距离 1.95mm
13	80×长距平场物镜	●	●	LPL 80X/0.80 ∞ 工作距离 0.848mm
14	10X长距平场暗场物镜	●	●	D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距离 18.48mm
15	20X长距平场暗场物镜	●	●	D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距离 8.35mm
16	40X长距平场暗场物镜	●	●	D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距离 3.895mm
17	50X长距平场暗场物镜	●	●	D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距离 1.95mm
18	80X长距平场暗场物镜	●	●	D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距离 0.848mm
19	4X平场物镜		●	PL 4X/0.10 ∞/0.17
20	10X平场物镜		●	PL 10X/0.25 ∞/0.17
21	20X平场物镜		●	PL 20X/0.66 ∞/0.17
22	40X平场物镜		●	PL 4X/0.10 ∞/0.17
23	100X平场物镜		●	PL 100X/1.25oil ∞/0.17
24	10×大视野目镜	●●	●●	WF10×-22
25	16×大视野目镜	○○	○○	WF16×-16
26	黄、绿、兰、中性滤色片	●	●	各一
27	毛玻璃片	●	●
28	35mm摄影接筒	●	●
29	2.5X摄影负目镜	●	●
30	CCD摄像机接头	●	●	显微镜与DV02或视频摄像机联接用

注：●为*件，○为可选件。

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