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HORIBA SEC-N124MGM 气体质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型
产品简介
详细介绍
HORIBA SEC-N124MGM 气体质量流量控制器
气体质量流量控制器&气体流量计
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种化的通讯方式标志。
特征
- 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多种通讯方式及电源供给
型号 | 选择通讯方式 | 选择供电方式 |
SEC-N102 系列 | 数字式信号传输 ?RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供应电源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通讯 | 符合ODVA标准 |
SEC-N105 系列 | CC-Link®通讯 模拟式通讯 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通讯方式 |
|
模拟式通讯 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通讯方式 | 符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V |
- 高精度：±1.0% S.P. (*1)
- 1秒内快速响应 (*1)
- 多气体，多量程解决方案
(*1)包括SEC-N17XR
多气体，多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。
更多详情请咨询经销商
HORIBA SEC-N124MGM 气体质量流量控制器