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HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器
适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。
产品简介
详细介绍
HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
特征
- 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多种通讯方式及电源供给
HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器
n数字式/ 模拟式通信
lRS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）
l可与其它系列产品兼容
n复合气体 / 复合量程
l可以方便的在客户端更改对应气体和量程
n高精度控制： ±1.0% 设定流量.
l选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
n快速响应： 在可控流量范围内,响应时间≦1 sec
l内置PID参数，可以调整响应时间
n气阀种类
l 电磁阀 (~50SLM)
l 压电陶瓷阀 (100/200SLM)
n密封圈材质 ：橡胶 或 金属
n气路表面 ： 未经抛光处理
n接口 ： 仅有VCR接口
nRoHS要求： 满足RoHS要求
气体质量流量控制器&气体流量计
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至大流量。
*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种化的通讯方式标志。
型号 | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范围 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范围 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%设定流量（设定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（设定流量≤30%全流量） | |||
响应速度 | ≤1秒 | |||
气路材质 | SUS 316L,PTFE,磁性不锈钢 | SUS 316L | ||
密封圈材质 | 金属/橡胶 | |||
阀门类型 | NC;常闭 | NC；?？?/span> NO; ?？?/span> | ||
适用的差压范围 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗压能力 | 100KPa（g） | |||
产品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金属密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡胶密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
数字式通讯协议 | RS-485 | |||