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HORIBA SEC-E50（MK3）质量流量控制器
Horiba SEC-E50 质量流量控制器Horiba MFC被应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。
产品简介
详细介绍
HORIBA SEC-E50（MK3）质量流量控制器
Horiba SEC-E50 质量流量控制器在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量300sccm到流量30slpm的控制。
概要
· 适用于范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有多的销售业绩。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
技术规格
型号 | SEC- (质量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (质量流量计) | SEF-E40 | E50 | |
适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
阀门型号 | 非通电时 关闭 | ||
标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范围 | 2?* F.S. | ||
流量测量范围 | 0?* F.S. | ||
响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直线性 | ±0.5% F.S. | ||
反复性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差压值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用压力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 压 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) | ||
流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S. | ||
流量输出信号 | 0?5VDC(zui小负荷电阻2kΩ) | ||
驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | ||
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
HORIBA SEC-E50（MK3）质量流量控制器