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RTS-3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技术参数：
测量范围 | 电阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方块电阻：0.1～19999Ω/□； |
恒流源 | 电流量程分为100μA、1mA两档，两档电流连续可调 |
数字电压表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；极性、超量程自动显示； |
四探针探头基本指标 | 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整机测量zui大相对误差 | (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高) |
重量 | 350g |
电源 | 锂电池，一次充电可连续使用100小时； |
标准使用环境 | 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无高频干扰； 无强光直射； |
| 配置 | 四探针测试仪主机、四探针探头 | 8500/套 | ||||||
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