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塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理

閱讀:1333        發(fā)布時(shí)間:2013-1-22

塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理

      

塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理
光散亂式粒子計(jì)數(shù)器
(采用激光或白光光源)
 
主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個(gè)單位體積的個(gè)數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測(cè)試范圍(粒徑通道)的個(gè)數(shù)。
 
首先粒子計(jì)數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進(jìn)行氣體(一般的超凈間為室內(nèi)空氣)采樣。當(dāng)采樣氣體中的粒子通過光源(激光)等收束的光束時(shí),產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?hào)(脈沖),粒子越大得出該脈沖信號(hào)就越大(波峰值),通過此時(shí)的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個(gè)粒徑的個(gè)數(shù)濃度。即通過測(cè)試散亂光的數(shù)量和強(qiáng)度,得出實(shí)時(shí)測(cè)試數(shù)據(jù)。
 
凝聚核法粒子計(jì)數(shù)儀(CNC)工作原理
 
普通光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀無法檢測(cè)到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進(jìn)行測(cè)試。采用高溫酒精蒸汽與被測(cè)空氣混合達(dá)到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核,粒子徑增大后即可檢測(cè)出來。
 
CNC具有較高的采樣效率,因而可以在短時(shí)間內(nèi)率的檢測(cè)到超凈間內(nèi)的粒子濃度。
 
2、粒子計(jì)數(shù)儀的分類
 
A、按測(cè)試原理分
  • 光散亂法測(cè)試(白光、激光)
  • 顯微鏡法測(cè)試
  • 稱重法測(cè)試
  • DMA法測(cè)試(粒徑分析儀)
  • 慣性法測(cè)試
  • 擴(kuò)散法測(cè)試
  • 凝聚核法測(cè)試(CNC)等
B、按流量分
  • 小流量 0.1cfm(2.83L/min) 
  • 大流量 1cfm(28.3L/min)
C、按形狀、體積大小分
  • 手持式
  • 臺(tái)式
D、按測(cè)試通道分
  • 單通道(只測(cè)某一種粒子徑)
  • 雙通道(測(cè)試某兩種粒子徑)
  • 多通道(測(cè)試多種粒子徑)

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