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氦气纯化器

Valco气体纯化器的纯化基质是一种无挥发性、有加热活化的吸附性合金，此稳定的合金包含在焊接组件中，所以可以安全简单地使用。吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气钝化层的形成。氦气和氮气纯化器有一自动调控的特征设计，它保持吸附剂材料于zui适温度，消除了热量流失的可能性。

氦气纯化器

*   可纯化气体：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

*   zui高操作压强：1000 psig

*   可去除杂质：出口杂质低于10ppb H₂O、H₂、O₂、N₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口杂质总量，其它去除杂质包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和轻质烃。

*   未被去除杂质：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

氮气纯化器

*   可纯化气体：只有N₂

*   zui高操作压强：1000 psig

*   可去除杂质：出口杂质低于10ppb H₂O、H₂、O₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口杂质总量，其它去除杂质包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和轻质烃。

*   未被去除杂质：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N₂