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产品简介
电子化学品,半导体化学材料,高压计量泵,风囊泵,芯片用电子化学品,半导体化学品,高压输液泵,ic化学品,氟材料高压计量泵,光刻化学品 蚀刻化学品 氢氟酸、盐酸 光阻胶 光刻胶输送 湿化学品输送 半导体专用泵
详细介绍
SF1005D氟材料高压计量泵流路做了无金属优化，接触液体的材料为FFKM、PTFE和特种陶瓷，流量范围0.01—100.00ml/min，耐压达到5Mp，扬程高传输距离长，是三为科学针对电子化学品领域开发的一款耐腐蚀有高压输送需求的四氟泵。SF1005D高压氟泵还具有：在线流量和压力变化曲线、客户端流量校正，按体积输送功能和按重量输送功能，通讯方面有：Modbus 、Profibus和Profinet协议，PLC，模拟量输入：0—5V , 4—20 mA，485/232/usb/网口等选择；流量精度高、压力脉冲低，重复性好，质量优异，广泛应用于电子化学品输送领域和化工反应器配套领域。
技术特点：
1， 压力保护设定：可设置最压力上限和下限；
2， 压力脉冲低 ， 采用凸轮曲线补偿和流量脉冲电子抑制技术；
3， 流速单位切换：按体积输送ml/min和按质量输送g/min；
4， 流量校准：提供用户参数区用于校准泵的流速，满足不同系统工况需求；
5， 流量控制程序： 提供两种运行程序，恒流运行和梯度运行；
6， 压力曲线显示：各设备分别显示当前压力曲线，直观判断设备运行状况；
7， 流量曲线显示：各设备分别显示当前运行的流量曲线；
8， 柱塞杆清洗系统，延长泵的使用寿命;
9， 支持RS-232，RS-485，RS-422，USB通讯；Modbus RTU和 ASCII协议；
10， 一对多控制，单泵操作和多元梯度操作自由选择，可扩展1对32操作；
11， 运行数据保存：开启或停止数据记录，将压力曲线和流量曲线保存至Excel格式文件中。
12， 设置方法保存：保存运行参数设置，如串口端口参数，压力?；ぶ?，流量控制程序等。
13， 可以实现流体入口天平减重系统的闭环控制（根据客户天平规格定制）。
SF1005D高压氟泵参数：
| 序号 | 产品型号 | SF1005D |
| 1 | 泵头材质 | 不锈钢内嵌PCTFE泵头，螺纹加工在不锈钢上 |
| 2 | 输液方式 | 双柱塞并联模式，浮动柱塞设计 |
| 3 | 流量范围 | 0.01-100.00/min |
| 4 | 增量 | 0.01ml/min |
| 5 | 流量准确度 | ± 0.5% |
| 6 | 流量重复性 | ≤ 0.1% |
| 7 | 压力范围 | ≤ 5Mpa |
| 8 | 压力脉动 | ≤ 0.05Mpa |
| 9 | 流路材料 | FFKM、PTFE、特种陶瓷 |
| 10 | 出口管路 | φ3mm、φ3.175、φ4mm |
| 11 | 流量校正点 | 0.01、0.1、1、10、20、40、60、80、100ml/min |
| 12 | 流量校正功能 | 用户端 0.01--100.00ml范围内多参数流量校正功能 |
| 13 | 通信功能 | RS232，USB(标配）；RS485/422(选配)； Modbus 协议 |
| 14 | 上位机软件 | SanoFlu流体控制管理系统 |
| 15 | 电源 | 85 ～ 264VAC,50Hz |
| 16 | 尺寸 | 370×240×152 mm3 |