BM系列囊式计量泵是全氟流路高精度的化学进料泵，囊式计量泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，常被用于半导体、生命科学和化工领域苛刻物料的输送，如：光刻胶、氢氟酸、液态氟化氢、氢溴酸、液氯、硫酸酐、发烟硫酸、发烟硝酸、丁基锂、格氏试剂、浓硫酸、浓磷酸等。

     BM系列囊式计量泵是三为科学推出的一款耐腐蚀、全氟流路、高精度的化学计量泵，囊式计量泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，囊式计量泵常被用于半导体、生命科学和化工领域苛刻物料的输送，如：光刻胶、氢氟酸、液态氟化氢、氢溴酸、液氯、硫酸酐、发烟硫酸、发烟硝酸、丁基锂、格氏试剂、浓硫酸、浓磷酸等。

产品特点：

?流路接液部仅由氟树脂构成，可输送强腐蚀酸碱盐等各种药液

?接液部无密封圈和滑动结构，运行不产生微颗粒，无密封圈泄露风险

?无外部气体进入，不易产生电解液结晶化结构

?可输送高粘度物料和微量气体物料

?丝杠传动，可实现高精度连续流流体输送

产品用途：

?化工领域高粘度高浓度强腐蚀物料输送

?半导体工序的光刻胶及高纯电子化学品输送

?锂离子电池等电池制造工序的电解液输送

?生物医药领域洁净物料输送

?其他液体化学品或液体物料的定量输送

电动风囊泵产品参数：