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产品简介
详细介绍
? 高精度工作台
? - 花岗岩底座
? - 光栅尺分辨率：0.05um
? - 高分辨率CCD 相机
? - 固定倍率（0.5X、1X、2X、4X）或手动变焦镜头（0.7-4.5X 分五个固定倍率）
? - 透射光（绿色）和表面环形光均为LED 光源
? - 测量范围X/Y/Z：200x100x150mm
? - 精度XY（E2）=3.0um+L/60（L为mm）
? - 精度Z（E1）=5.9um+L/60（L 为mm）
? - 工作台承重：10Kg
? - TESA Vista 或Pcdmis 软件