倾斜旋转样品杯

针对放样或制样时，小特征点无法被看到的问题。

倾斜的优势

三维测量

3D结构成图

孔

多层结构

边缘

旋转的优势

沿X或Y轴排列特征点信息

可以对样品的每一个面进行成像

规格

• 倾斜范围: -10° ~ + 45° (步长0.2°) 

• 旋转角: 360°连续旋转 (步长0.2°) 

• zui大试样直径: 12 mm

• zui大试样高度: 5 mm

• zui大重量: 60 g 

• 真空度: 高真空 

通过 Pro Suite 应用来专门控制

• Compucentric 旋转

• Pseudo-eucentric 倾斜

• 倾斜自动对焦

• 用坐标和图像来保存当前样品台位置

• X 和 Y 轴排列

Compucentric 旋转

旋转一个不在中心位置的特征点时需要三轴联动。有了软件上的这个功能以后，旋转时会自动运动。

Pseudo-eucentric倾斜

倾斜特征点会引起工作距离和Y轴位置的变化。本功能自动矫正Y轴位置。

跟踪对焦

倾斜特征点时会引起工作距离的变化和物理上的Y轴方向的位置。跟踪对焦功能自动矫正Z轴方向的焦距。

X和Y轴对齐

仅两点点击即可帮助实现对齐X和Y方向的特征。

样品台和坐标

设置样品坐标。

由于具备自动样品操作能力，可以直观方便地对于任何样品的任何特征成像。