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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

如何分析全自動掃描電鏡的照片

時間:2021-6-25 閱讀:3958
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  全自動掃描電鏡的圖像如何分析?許多人做過掃描電鏡測試,但他們不知道如何分析掃描電鏡圖像。今天,我將簡要介紹如何分析掃描電鏡圖像:
 
  1、全自動掃描電鏡的照片是黑白圖像,分為二次電子圖像和背散射電子圖像。主要用于觀察表面微觀形貌或表面元素的分布。一般來說,二次電子像主要反映樣品表面的微觀形貌,與自然光反射的形貌基本一致。在特殊情況下,需要進行比較分析。區(qū)域越亮,原子序數(shù)越高。
 
  2、從表面形貌和電子成像來看,亮區(qū)越高,暗區(qū)越低。非常薄的薄膜,背散射的電子會引起偽影。當(dāng)導(dǎo)電性差時,電子的積累也會導(dǎo)致假像。由于顯示器上的圖像寬度是固定的,只要改變樣品表面電子束的掃描寬度,圖像放大倍數(shù)就可以連續(xù)改變幾倍、十倍甚至數(shù)萬倍。大范圍的放大調(diào)整是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點。低倍鏡便于選擇視野和觀察樣品的全貌,而高倍鏡便于觀察某些微區(qū)的精細形貌和結(jié)構(gòu)。
 
  分析全自動掃描電鏡圖像,不僅需要豐富的知識和經(jīng)驗,而且要注意樣品的質(zhì)量。對樣品有什么要求?我做了如下總結(jié):
 
  1、對于導(dǎo)電性好、導(dǎo)電性差或不導(dǎo)電的樣品,特別是含有超輕元素(如C、N、O、F)的樣品,要先在樣品表面噴涂碳膜。
 
  2、樣品尺寸:樣品越小越好。特別是在分析非導(dǎo)電樣品時,小樣品可以改善導(dǎo)電性差的影響;大的樣品,會釋放更多的氣體,影響真空度,帶來污染。
 
  3、均勻、有代表性、無磁性、沒有受到污染。
 
  4、粉末樣品:細小的顆??梢砸揽孔陨肀砻娴奈搅?,用乙醇附著在銅或鋁臺面的表面,具有適當(dāng)?shù)亩逊e厚度,盡量不要使樣品臺的成分受到電子束的激發(fā)。如有必要,可提前檢測粉末樣品的成分。如果有銅或鋁,則應(yīng)相應(yīng)地使用鋁或銅級。應(yīng)將粗顆粒粘在導(dǎo)電膠帶上,并選擇較大的顆粒進行EDS分析。但是,無論是細顆粒還是粗顆粒,在制作EDS時要用壓片機快速成型。

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