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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

全自動(dòng)掃描電鏡藏著什么秘密

時(shí)間:2021-6-7 閱讀:1922
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     全自動(dòng)掃描電鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品,通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用,來(lái)激發(fā)各種物理信息,對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
 
  全自動(dòng)掃描電鏡最基本的功能仍然是放大鏡的功能,實(shí)現(xiàn)人眼以及光學(xué)顯微鏡所觀察不到的樣本的更多細(xì)節(jié)特征。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)研究、生物學(xué)、工業(yè)制造等領(lǐng)域。
 
  全自動(dòng)掃描電鏡主要分為兩種類型:
 
  熱發(fā)射式掃描電鏡CSEM和場(chǎng)發(fā)射式掃描電鏡FESEM
 
  熱發(fā)射式掃描電鏡(C-SEM)和場(chǎng)發(fā)射式掃描電鏡(FE-SEM)的主要區(qū)別是電子槍發(fā)射電子的方式不同。
 
  熱發(fā)射電子槍使用的是鎢燈絲或者六硼化鑭燈絲,在燈絲加熱到足夠的溫度之后,電子便從燈絲發(fā)射;
 
  場(chǎng)發(fā)射電子槍又分為熱場(chǎng)發(fā)射和冷場(chǎng)發(fā)射兩種,電子在電場(chǎng)力的作用下從燈絲發(fā)射,熱場(chǎng)燈絲也需要加熱,冷場(chǎng)燈絲不需加熱。熱場(chǎng)和冷場(chǎng)電鏡各有各自的優(yōu)缺點(diǎn),蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡使用的是熱場(chǎng)電子源。場(chǎng)發(fā)射式電鏡具有更高的分辨率。
 
  二次電子圖像:反映樣品表面形貌
 
  背散射電子圖像:反映樣品表面成分差異
 
  能譜成分分布圖像:反映樣品表面成分組成與分布
 
  由于掃描電子顯微鏡具有上述特點(diǎn)和功能,所以越來(lái)越受到科研人員的重視,用途日益廣泛。掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。

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