掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的 電子系統(tǒng)來完成的，只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已。 

   在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度*不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對于1000 條線的掃描圖象來說，速度比為1000。掃描電子顯微鏡利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

   掃描電子顯微鏡掃描系統(tǒng)由掃描發(fā)生器和掃描線圈組成。它的作用是：使入射電子束在樣品表面掃描，并使陰極射線顯像管電子束在熒光屏上作同步掃描；改變?nèi)肷涫跇悠繁砻娴膾呙璺龋瑥亩淖儝呙柘竦姆糯?倍數(shù)。掃描電子顯微鏡應用的物理信號可分為：1) 電子信號，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。吸收電子可直接用電流表測，其他電子信號用電子收集器；2) 特征X射線信號，用X射線譜儀檢測(EDS) 。圖像顯示系統(tǒng)是將電信號轉(zhuǎn)換為陰極射線顯像管電子束強度的變化，得到一幅亮度變化的掃描像，同時用照相方式記錄下來，或用數(shù)字化形式存儲于計算機中。

   掃描電子顯微鏡提供必需的高真空，保證了電子束的正常掃描，還可以防止樣品受到污染，電源系統(tǒng)主要是指各種部件的電源，如加速電壓電源、透鏡電源和光電倍增管電源等，雖然是顯微鏡家族中的*，但 由于其本身具有許多*的優(yōu)點，發(fā)展速度是很快的。掃描電子顯微鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像，觀察樣品的景深大，視場 大，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等，使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感。

    掃描電子顯微鏡可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量，如亮度及反差自動保持，試樣傾斜角度校正，圖象旋轉(zhuǎn)，或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度，以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖 象選擇器，可在熒光屏上同時觀察放大倍數(shù)不同的圖象。