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無塵車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入
無塵車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本zui低，潔凈度安全性zui高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則無塵車間投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)(比如潔凈隧道和微環(huán)境)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。
MAU是潔凈系統(tǒng)運(yùn)行成本zui高的部分，因此在設(shè)計上可以考慮通過熱回收進(jìn)行節(jié)能。夏季可以利用新風(fēng)空調(diào)的預(yù)熱盤管將熱回收到再熱盤管，節(jié)省熱水用量;采用噴淋室加濕設(shè)計，可以減少熱損失，且可以穩(wěn)定而地去除新風(fēng)中的AMC，延長化學(xué)過濾器壽命。在運(yùn)行上要有效控制工藝排風(fēng)量以降低新風(fēng)用量，降低MAU送風(fēng)溫度，減少加熱量和無塵車間內(nèi)冷負(fù)荷。
集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上，因此節(jié)能安全的無塵車間設(shè)計和各種熱能回收設(shè)計將是未來的發(fā)展方向。
隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級，主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時代，集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為*制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。