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當(dāng)前位置：上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>氣體/粉塵/水分檢測(cè)儀>>半導(dǎo)體氣體分析儀>> NanoChrome ULTRA系列超微量級(jí)分析儀
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌SERVOMEX
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時(shí)間：2025-04-21 12:02:41瀏覽次數(shù)：614次
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|
NanoChrome ULTRA系列超微量級(jí)分析儀
核心參數(shù)
儀器種類：在線
適用領(lǐng)域：高純氣體分析專用
控制溫度范圍： +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)
載氣流量范圍及控制：90 … 810ml/分鐘
載氣壓力范圍及控制：O2背景氣 = 85psig，其他背景氣 = 80psig
進(jìn)樣口壓力設(shè)定范圍：30psig（具體視應(yīng)用而定）
進(jìn)樣口總流量設(shè)定范圍：0 … 300ml/分鐘（具體視應(yīng)用而定）
簡(jiǎn)介
該ULTRA系列超微量級(jí)分析儀專為半導(dǎo)體過程應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢測(cè)技術(shù)(PED)，可精確測(cè)量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術(shù)和直接分析方法確保了高的測(cè)量精度，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和UHP氣體的質(zhì)量控制。
創(chuàng)新型ULTRA系列產(chǎn)品中的一員，用于半導(dǎo)體過程應(yīng)用的超微量級(jí)分析儀，可測(cè)量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC氣體.
性能:
創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢 測(cè)儀 (PED)，可測(cè)量超微量級(jí) Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC
ProPeak鎖峰技術(shù)，確保超高測(cè)量靈敏度
直接分析法，可避免FID和RGD的測(cè)量不確定性
主要應(yīng)用:
半導(dǎo)體生產(chǎn) - 質(zhì)量控制
半導(dǎo)體生產(chǎn) - 臺(tái)式分析系統(tǒng)
UHP氣體生產(chǎn) - 質(zhì)量控制
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