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表面粗糙度測(cè)量?jī)x有哪些分類
表面粗糙度測(cè)量?jī)x有哪些分類
表面粗糙度的測(cè)量方法基本上可分為接觸式測(cè)量 和非接觸式測(cè)量?jī)深?。在接觸式測(cè)量中主要有比較法、印模法、觸針?lè)ǖ?；非接觸測(cè)量方式中常用的有光切法、實(shí)時(shí)全息法、散斑法、像散測(cè)定法、光外差法、 AFM、光學(xué)傳感器法等。
觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x是比較常用、方便、 可靠的表面粗糙度測(cè)量?jī)x，并且一直是各國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及標(biāo)準(zhǔn)制定的依據(jù)。根據(jù)傳感器的不同原理，觸針式粗糙度儀可分為電感式、壓電式、光電式、 激光式和光柵式等，還可以分為有導(dǎo)頭式和無(wú)導(dǎo)頭式。導(dǎo)頭式粗糙度儀僅限用于測(cè)量表面粗糙度，而無(wú)導(dǎo)頭式粗糙度儀除可用于測(cè)量表面粗糙度外，還可用于 測(cè)量表面波紋度和表面幾何形狀。
工作原理
電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，在傳感器測(cè)桿的一端裝有金剛石觸針，觸針曲率半徑很小，測(cè)量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測(cè)表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感 器。由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地 上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化 使電橋失去平衡，于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化 放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路：一路加到指零表上， 以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器 放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。