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電漿清洗。

SiO_x、SiN_x、a-Si、DLC和其他薄膜。

防刮顯示屏。

醫療和商業產品的耐磨薄膜。

封裝，絕緣層。

鋁或不銹鋼腔體或石英腔，佔地面積小。

通過使用水冷系統、加熱器或加

熱器包來控制腔體溫度。

客製化的基板尺寸，最大直徑可達12

寸晶圓。

單載片或多載片。

優異的薄膜均勻度小於±3％。

精準流量控制器，氣體分佈高度均勻，最多可擴充10條氣體管線。

穩定的溫度控制，可將載盤加熱至400°C。

使用電容式耦合電漿（CCP）。

可以與傳送腔、機械手臂和手套

箱整合在一起。

RPS用於腔體清潔。

發射光譜儀。

高真空傳送系統。