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主要用于观察细小物体的形状, 测量细小物体的大小, 由于配备了各种可变长焦距的镜头, 可以观察并记录细小物体的变化情况, 放大倍数可达准纳米级，比如结晶过程, 高分子在电场下的链结, 细胞的变化等。显微测量系统对半导体、液晶、石油，印染，医药，喷涂，选矿等行业的科研生产有非常重要的作用。另外根据客户的需求可将光学系装于流水线及机器中，用于生产监控。