SRS RGA300 是一款 300amu 的残余气体分析仪,具有性能和较高的性价比,以下是其产品概述:
系统组成:由四极杆探头、电子控制单元(ECU)和实时 Windows 软件包构成。其中,探头包括离子发生器、四极滤质器和检测器,设计简洁,零件少,可减少放气和杂质引入;ECU 集成度高,包含控制所需的所有电子设备,可由外部电源或内置电源??楣┑?,且带有 LED 指示灯显示状态,还能与探头分离进行高温烘烤。
性能特点:质量分辨率优于 0.5amu @ 10% 峰高(根据 AVS 标准 2.3),在整个质量范围内可调至恒定峰宽;具有 6 个量级的动态范围,温度补偿对数静电计可在单次扫描中检测 10-7 至 10-15 安培的离子电流,精度优于 2%;标准配置法拉第杯探测器,可测量 10-5 到 5×10-11Torr 的分压,可选电子倍增器,能检测低至 5×10-14Torr 的分压。
功能特性:具备内置脱气功能,通过电子冲击解吸清洁离子源,降低背景噪声;固件驱动的灯丝?;すδ芤?675Hz 持续监控过压,?;さ扑渴倜煌ü?RS-232 接口与计算机通信,可控制和监控模拟、直方图扫描、泄漏检测及探头参数等,便于集成到现有程序。