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海德漢HEIDENHAIN光柵尺光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源。會聚誘鏡，指示光柵，光電元件及調(diào)整機構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭，鏡像式讀數(shù)頭，分光鏡式遺數(shù)頭，金屬光柵反射式讀數(shù)頭)。光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。海德漢HEIDENHAIN光柵尺標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中
海德漢HEIDENHAIN光柵尺光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，目制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重委時，在與
光柵刻線大致乘直的方向上就會產(chǎn)生草爾條紋，隨著光柵的移動，草爾條紋也隨之下下移動。海德漢HFIDENHAIN光柵尺這樣就把對光機
柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號基相位差為π/2，為得到判向和計數(shù)脈沖，需對這兩路信號進行整形，海德漢HEIDENHAIN光柵尺首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以等到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度。安裝海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。海德漢HEIDENHAIN光柵尺如果不能達到這個要求，則需設(shè)計加工一件光柵尺基座。