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产品简介
详细介绍
-135℃水汽捕集泵
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa）。
-135℃水汽捕集泵在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环?；旌闲椭评浼辽娲旱?，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过*水平。
-135℃水汽捕集泵主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；
2、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，zui低可到-150℃；
3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出；
5、进口压缩机，环?；旌闲椭评浼?
6、完善的自动化控制；
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示；
8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、电源断电、缺相报警；
14、可本地、远程控制自由转换；
15、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
| 型号 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
| 压缩机功率（KW） | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
| 工作温度（℃） | -120℃至-150℃ | |||||
| 抽气速度（l/s） | 30600 | 51000 | 73,000 | 101,000 | 153,000 | 250,000 |
| 制冷量（W） | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
| 冷凝管表面积（m2） | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
| 冷凝管长度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
| 预冷时间（min） | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
| 降温时间（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
| 除霜时间（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 再降温时间（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
| 适用油扩散泵径（mm） | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 双路输出 | 双路输出 |
| 冷却方式 | 风冷、水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | |
| 适用腔体直径（mm） | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 | |
冷凝盘管的制作
根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。
输入、输出的接口
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。
