结

构

参数

X,Y轴行程

100 mm

结

构

描

述

行程

120 mm

台面尺寸

300×300mm

台面尺寸

220mm×140mm

螺杆导程

4 mm

驱动机构

精研丝杠副

导轨

精密交叉滚柱导轨

导轨形式

滑动导轨

步进电机（步距角）

42(1.8°)

步进电机(1.8°)

57BYG

主体材料

铝合金

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

表面处理

阳极氧化发黑

台面中心承载

50 kg

中心承载

10kg

平台自量

8.3 kg

重量

6kg

精

度

参数

分辨率

20μm（无细分），2.5μm（8细分）

调整量

5μ（无细分）

0.25μ（20细分）

速度

40mm /sec

精

度

描

述

速度

5/sec

重复定位精度

2μm

重复定位精度

10μ

定位精度（选配光栅）

3μm

空回

4μ

直线度

5μm

丢步

3μ

运动平行度

15μm

俯仰

50″

偏摆

25″

回程间隙

2μm

丢步

2μm

回程间隙

2μm

丢步

2μm

可加装光栅尺(G)

可换装伺服电机(D)