结                    

构                    

参                    

数                    

行程                    

50 mm                    

100 mm                    

150 mm                    

200 mm                    

300 mm                    

400 mm                    

500 mm                    

台面尺寸                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

螺杆规格                    

精密滚珠螺杆（导程4 mm）                    

滚珠螺杆（导程5 mm）                    

导轨                    

精密线性滑块导轨                    

步进电机(步距角)                    

42（1.8°）                    

57（1.8°）                    

主体材料                    

铝合金                    

表面处理                    

阳极氧化发黑                    

台面中心负载                    

30 kg                    

50 kg                    

平台自重                    

2.8kg                    

3.4kg                    

4.5kg                    

5.2kg                    

6.3kg                    

7.2kg                    

8.3kg                    

精                    

度                    

参                    

数                    

8细分分辨率                    

2.5μm                    

3.125μm                    

速度                    

20mm/sec                    

40mm/sec                    

50mm/sec                    

重复定位精度                    

5μm                    

定位精度（选配光栅）

8μm                    

直线度                    

5μm                    

6μm                    

8μm                    

运动平行度                    

10μm                    

15μm                    

20μm                    

俯仰                    

25″                    

50″                    

60″                    

偏摆                    

20″                    

25″                    

30″                    

回程间隙                    

2μm                    

丢步运动                    

3μm                    

5μm                    

附件描述                    

可加装失电制动功能(Z)                    

可加装光栅尺(G)                    

可换装伺服电机(D)                    

可加装防尘罩(F)                    

结                    

构                    

描                    

述                    

角度范围                    

360°                    

台面尺寸                    

φ100mm                    

传动比                    

180∶1   90:1                    

驱动机构                    

蜗轮和蜗杆机构                    

导轨形式                    

轴承                    

步进电机(1.8°)                    

42BYG                    

主体材料                    

铝合金                    

表面处理                    

阳极氧化发黑                    

中心承载                    

45kg                    

重量                    

1.7kg                    

精                    

度                    

描                    

述                    

分辨率                    

0.01°（无细分）                    

0.0005°=1.8″（20细分）                    

速度                    

25°/sec                    

重复定位精度                    

0.005°=18″                    

定位精度（选配光栅）

0.01°=36″                    

端跳精度                    

15μ                    

空回                    

0.005°=18″                    

偏心                    

5μ                    

丢步                    

0.005°=18″                    

平行度                    

80μ                    

结

构

描

述

行程

60 mm

台面尺寸

120mm×80mm

驱动机构

精研丝杠副

导轨形式

滑动导轨

步进电机(1.8°)

42BYG

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

中心承载

5kg

重量

1.15kg

精

度

描

述

调整量

5μ（无细分）

0.25μ（20细分）

速度

/sec

重复定位精度

10μ

空回

4μ

丢步

3μ