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MX51-奥林巴斯MX51半导体检查显微镜
  • MX51-奥林巴斯MX51半导体检查显微镜

货物所在地:上海上海市

更新时间:2025-06-02 21:00:07

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能对应150 mm晶圆/FPD玻璃基板的手动操作型号(反射透射兼用)对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品,性价比优异。

奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。

• 考虑了检查效率的设计
• 鲜明图像和的分辨率为特点的光学系
• 软件方案
• 帮助实现多种观察方法的附件

考虑了检查效率的设计

高灵敏度载物台可以迅速决定位置 
 

内置离合器的载物台手柄 

MX51主要操作部件集中在前面,操作人员易于操作,即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器,可实现轻松移动。

快速切换物镜,提高检查速度 
 

电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

鲜明图像和的分辨率为特点的光学系

多种选择可实现的成像性能

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

观察影像实例
 

      

明视场观察                            暗视场观察                        微分干涉观察                       荧光观察

软件方案

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机??梢员4婧图锹际胗跋?,帮助创建观察报告??筛萦猛敬油枷裰柿?、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

帮助实现多种观察方法的附件

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。 
 

 

近红外线观察单元                                                     近红外线观察

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。 
 

 
荧光镜单元                                                                  荧光观察

透射照明单元 
 

透射照明单元 

对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。

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