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真空泵的选型(一)

时间:2011/9/13阅读:2199
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           真空干燥箱等真空设备对真空泵的选型是非常重要的,如何选好真空泵意味着真空设备的能否正常使用至关重要的。上??室瞧魃璞赋ёㄒ瞪婵崭稍锵涞认盗胁罚斯丝团笥迅玫氖褂帽境恼婵崭稍锵?,所以我们觉得应该向客户介绍一下真空泵的选型。首先我们就对真空泵做个系统的了解。当然也欢迎真空泵的厂家和我们一同探讨一下这个问题。以下问题如有欠缺和不妥之处还望朋友们支出和见谅,谢谢。
     1、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
     2、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。     
     3、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
     4、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好 。     
     5、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗?;页?,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
     6、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
     7、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
     8、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
     9、真空泵的价格、运转及维修费用。

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