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四探針電阻率主機(jī)技術(shù)能數(shù)：
（1）測(cè)量范圍：
     可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω•cm
     可測(cè)方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
     輸出電流：DC  0.001～100mA   五檔連續(xù)可調(diào)
    量程：0.001～0.01mA
           0.01～0.10mA
           0.10～1.0mA
           1.0～10mA
           10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
     測(cè)量范圍：0～199.99mV
     靈敏度：10μV
     基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
     輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
     AC  220V±10%    50/60  Hz    功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃   相對(duì)濕度：≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射
（6）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm  長(zhǎng)度×寬度×高度）
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀（以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀）是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。