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韓國Line tech氣體質(zhì)量流量計(jì)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 M20系列
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  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2017-12-26 15:27:53瀏覽次數(shù):3293

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產(chǎn)品簡介

韓國Line tech氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。

詳細(xì)介紹

韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作),其操作使用方便,可任意位置安裝調(diào)試,并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動控制。典型的場合包括:電子工藝設(shè)備,如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、;以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)主要用于測量以下介質(zhì),高爐煤氣流量計(jì),焦?fàn)t煤氣質(zhì)量流量計(jì),煤氣,空氣,氮?dú)?乙炔,光氣,氫氣,天然氣,氮?dú)?液化石油氣,過氧化氫,煙道氣,甲烷,丁烷,氯氣,燃?xì)?沼氣,二氧化碳,氧氣,壓縮空氣,氬氣,甲苯,苯,二甲苯,硫化氫,二氧化硫,氨氣。

韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)規(guī)格:

量程:從10SCCM-150SLPM

響應(yīng)時(shí)間:2秒

精度:±1%FS

重復(fù)性:±0.25%FS

輸出:0-5VDC或4-20mA

耐壓:小于90bar

韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)氣路接頭可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型:

a.. 1/8" Compress

b. 1/4" Compress

c. 3/8" Compress

d. 1/4" VCR

e. 1/4" VCO

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