扫描透射探测器在不同角度散射的透射电子反映样品的不同信息，可获得以下信号：

• 明场像（BF）通常代表薄片样品的布拉格衍射取向和质厚衬度
• 暗场像（DF）包含部分取向衬度和轻元素的成分衬度
• 高角度暗场像（HADF）包含多的是成分衬度 散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。

扫描透射探测器散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。
 
应用：STEM 探测器用于研究生物样品中的超微结构、半导体器件的失效分析和材料的表征。
 
TESCAN 开发了两种类型的 STEM 探测器，都可以用于 SEM 或 FIB-SEM系统，对于 FIB-SEM 系统而言，它有助于制备高质量薄片样品并进行原位分析，增强了仪器的分析能力。