近场扫描光学显微镜的基本构造
进行NSOM实验，必须将点光源靠到样品表面纳米距离，然后点光源扫描样品表面，再收集探测经过样品表面的光学信号。我们使用经金属涂层处理的带孔洞椎形光纤作为NSOM探针。光经耦合进入探针，从亚光波长孔径的探针*发出，NSOM的分辨率就是由孔径的大小决定(*可以达到50纳米)。点光源和样品表面的距离通常通过正常的力反馈机制(与AFM相同)控制，因此可以进行接触、敲击和非接触模式的NSOM实验。针对不同的材料和实验，通常有四种NSOM操作模式：
＊ 透射模式成像——样品经过探针照明，光通过样品并与样品相互作用后被收集探测；
＊ 反射模式成像——样品经过探针照明，光从样品表面反射并被收集探测；
＊ 收集模式成像——样品经远场光源照明(从上或下面均可)，探针将光信号从样品表面收集；
＊ 照明收集模式成像——用同一根探针同时进行照明和收集探测反射光；
收集的光可通过多种探测器探测，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探测器、CCD或通过光谱仪探测，通过探测器得到的信号经过数据处理得到样品材料的NSOM图像。
仪器特点
1、支持探针+样品扫描，这对于波导材料&光子结构的收集模式NSOM和拉曼增强都有极大的帮助；
2、拥有zui棒的反射模式NSOM，*的硬件设计确保系统进行反射模式实验时拥有与透射模式一样的收集效率(而一般来说在相同的实验条件下，反射模式效率比透射模式低三个量级)；
3、可以使用所有种类的NSOM探针，包括我们*的悬臂梁玻璃探针、直光纤探针、带孔洞的悬臂硅探针、SERS探针、化学传感Sol-gel探针等…；
4、我们的玻璃探针种类很多，包括NSOM探针、AFM探针、深沟探针、中空AFM探针、拉曼增强探针、离子敏感探针、玻璃绝缘纳米金属丝探针、纳米电极、纳米镊子、热探针(纳米加热)等等…；
5、可以进行非接触NSOM实验(采用带孔洞的悬臂硅探针无法做到)；
6、针对液体生物材料NSOM成像拥有更强的信号(信号强三个量级)；
7、XYZ向大范围的扫描尤其是100微米深的Z向扫描范围，对于大尺寸纳米粒子、粗糙的表面SPM实验及共聚焦集成都是必须的；
8、*的深沟探针及Flat scan™扫描器可用于带深沟的MEMs和半导体器件扫描；
9、*的热传导模式成像，支持接触模式、非接触模式热成像，100纳米分辨率起；
10、采用的FPNTM技术，进行气态或液态材料(蛋白质、氯气等类似材料)纳米加工；
11、*的双探针SPM&NSOM系统；
12、可与微拉曼光谱、SEM、FIB、光学显微镜实时在线联用；
13、可以升级进行条件下的NSOM或AFM工作……
Multi-view系列产品规格
| | 操作模式 |
| 近场扫描光学显微镜(NSOM) | 透射模式，反射模式，收集模式，照明模式 |
| 原子力显微镜(AFM) | 敲击模式，接触模式(选配)，所有探针或样品扫描的AFM操作模式 |
| 微分干涉对比(DIC) | 反射和透射 |
| 折射率成像(Refractive-Index Profiling) | 反射和透射 |
| 在线远场共聚焦(和拉曼及荧光光谱成像) | 反射和透射，针对选择性拉曼散射超薄膜的探针增强拉曼散射 |
| 热传导及扩展电阻成像 | 接触模式，敲击模式，音叉反馈模式(无反馈激光引入干扰信号,选配)
热探针可作为纳米加热器使用，纳米热分析、纳米相转变等应用 |
| | SPM扫描头规格 |
| 样品扫描器 | 压电材料制薄片扫描器 (3D Flat Scanner™) 厚度为7毫米 |
| SPM扫描范围 | 样品扫描，zui大100 microns (XYZ) |
| 扫描分辨率 | < 0.005 nm (Z)
< 0.015 nm (XY)
< 0.002 nm (XY) 低电压模式 |
| 粗调定位 | 范围：6毫米 |
| 反馈机制 | 悬臂梁光束反弹反馈，音叉反馈(选配) |
| 样品几何要求 | 样品尺寸：标准配置下,直径zui大至16毫米
正置显微镜下使用,直径zui大至34毫米 特殊样品形状：如竖直样品进行边缘成像等 |
| 探针 | 各种针尖外露的玻璃探针，各种常规悬臂梁硅探针均可使用 |
| | 成像分辨率 |
远场 | 受光衍射几何限制 |
光学 | 500纳米 |
共聚焦 | 200纳米 |
近场扫描光学 | 100纳米，条件下可达到50纳米(由探针孔径决定) |
形貌 | Z向噪声0.05纳米 rms.
XY横向分辨率：由针尖直径和样品的卷积决定 |
热成像 | 100纳米起，温度灵敏度0.01ºC，300 ºC或更高(由样品决定) |
电阻成像 | 25纳米起 |
 |  |
正在对MEMs器件进行AFM选择性扫描的光学
显微镜视野(探针及压电陶瓷没有挡住光轴) | 双3D Flat-Scanner™支持探针+样品扫描 |
 |  |
环境控制腔可以控制温度、气氛、湿度
及其他环境指标 | Cryo view超低温高真空腔体
(10K起连续升温，10-5托真空) |
8