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賽默飛測(cè)量控制與材料鑒別

你應(yīng)該知道的X射線光電子能譜儀

時(shí)間:2023-2-21 閱讀:909
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  X射線光電能譜儀作為一個(gè)分析儀器,在一些材料的分析和元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析上使用較多。其使用的X射線光電子能譜是一種常見(jiàn)的分析表面成分分析法。
 
  X射線光電子能譜儀
 
  X-射線光電子能譜儀,是一種表面分析技術(shù),主要用來(lái)表征材料表面元素及其化學(xué)狀態(tài)。其基本原理是使用X-射線,如AlKa=1486.6eV,與樣品表面相互作用,利用光電效應(yīng),激發(fā)樣品表面發(fā)射光電子,利用能量分析器,測(cè)量光電子動(dòng)能(K.E),根據(jù)B.E=hv-K.E-W.F,進(jìn)而得到激發(fā)電子的結(jié)合能(B.E)。
 
  設(shè)備組成
 
  光電子能譜儀主要由激發(fā)源、電子能量分析器、探測(cè)電子的檢測(cè)器和真空系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。
 
  工作原理
 
  由激發(fā)源發(fā)出的具有一定能量的x射線、電子束、紫外光、離子束或中子束作用于樣品表面時(shí),可將樣品表面原子中不同能級(jí)的電子激發(fā)出來(lái),產(chǎn)生光電子或俄歇電子等,這些自由電子帶有樣品表面信息,并具有特征動(dòng)能,通過(guò)能量分析收集和研究它們的能量分布,經(jīng)檢測(cè)記錄電子信號(hào)強(qiáng)度和電子嫩倆的關(guān)系曲線,即為光電子能譜。
 
  X射線光電子能譜儀的應(yīng)用
 
  XPS:固體樣品的表面組成分析,化學(xué)狀態(tài)分析,取樣訊息深度為~10nm以?xún)?nèi).功能包括:
  1.表面定性與定量分析.可得到小於10um空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊.
  2.可進(jìn)行樣品的原位處理AES:1.可進(jìn)行樣品表面的微區(qū)選點(diǎn)分析(包括點(diǎn)分析,線分析和面分析)2.可進(jìn)行深度分析適合:納米薄膜材料,微電子材料,催化劑,摩擦化學(xué),高分子材料的表面和界面研究
  3.線掃瞄或面掃瞄以得到線或面上的元素或化學(xué)態(tài)分布.
  4.成像功能.
  5.維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學(xué)態(tài)的深度分析(角分辨方式,,氬離子或團(tuán)簇離子刻蝕方式)

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