多功能薄膜制備系統(tǒng)-Nano PVD系列

   基于多年大型薄膜制備系統(tǒng)的設(shè)計與研發(fā)所積累的豐富經(jīng)驗，Moorfield Nanotechnology深入了解了劍橋大學、諾森比亞大學、帝國理工學院、巴斯大學、?？巳髮W、倫敦瑪麗女王大學等多所*大學科研團隊的具體需求，經(jīng)過不懈努力推出了臺式高性能多功能PVD薄膜制備系列產(chǎn)品。該系列產(chǎn)品是為高水平學術(shù)研究研發(fā)的小型物理氣相沉積設(shè)備。推出之后短短幾年時間已經(jīng)在歐洲銷售了數(shù)十臺，該系列產(chǎn)品包含了磁控濺射、金屬/機物熱蒸發(fā)系統(tǒng)。這些設(shè)備雖然體積小巧，但是性能越，能夠快速實現(xiàn)高質(zhì)量納米薄膜、異質(zhì)結(jié)的制備，通常在大型設(shè)備中才有的共濺射和反應濺射功能也可以在該系列產(chǎn)品上實現(xiàn)。精準的有機物沉積系統(tǒng)更是該系列的大色。便捷的操作、智能的控制、高效的制備效率讓您的學術(shù)研究進入快車道。

設(shè)備型號

臺式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng) - nanoPVD S10A

    nanoPVD S10A是Moorfield Nanotechnology傾力打造的款高度集成化智能化的臺式磁控濺射系統(tǒng)。該系統(tǒng)雖然體積小巧，但是功能出色、配置齊全。該型號的推出是為了解決傳統(tǒng)臺式設(shè)備功能簡單不能滿足學術(shù)研究的問題。劍橋大學、諾森比亞大學、帝國理工學院等用戶都對這款臺式設(shè)備給予了很高的評價。

    nanoPVD S10A多可安裝3個水冷式濺射源，可實現(xiàn)高功率持續(xù)運行，靶材尺寸與大型系統(tǒng)樣是行業(yè)通用尺寸。系統(tǒng)可以實現(xiàn)兩源共濺射方案，可以實現(xiàn)反應濺射方案，多可同時控制3路氣體。系統(tǒng)具有分子泵，可快速達到5*10-7mbar高真空。腔體取放樣品非常方便，樣品臺大尺寸4英寸，系統(tǒng)有智能化的觸屏控制系統(tǒng)，采用完備的安全設(shè)計方案。

    nanoPVD S10A可用于制備高質(zhì)量的金屬薄膜、半導體薄膜、介電、緣材料薄膜以及復合薄膜、多層異質(zhì)結(jié)等。

臺式超大面積高質(zhì)量薄膜磁控濺射系統(tǒng) - nanoPVD S10A-WA

    Moorfield Nanotechnology根據(jù)客戶超大樣品的需求推出了nanoPVD-S10A-WA超大面積高質(zhì)量薄膜磁控濺射系統(tǒng)。該型號是nanoPVD-S10A的拓展型號，用于制備超大尺寸的樣品，大樣品可達8英寸。

    該系統(tǒng)基于nanoPVD-S10A的成熟設(shè)計和越性能，在相同腔體的設(shè)計基礎(chǔ)上對nanoPVD-S10A進行了調(diào)整，使濺射源正對襯底。結(jié)合襯底旋轉(zhuǎn)，即使在生長8英寸的超大樣品時也可獲得很高的樣品均勻度。與nanoPVD-S10A樣，濺射源采用水冷式設(shè)計，可以持續(xù)高功率運行，可實現(xiàn)共濺射等功能。nanoPVD-S10-WA是款接受半定制化的設(shè)備，如有殊需求請聯(lián)系我們進行詳細討論。

臺式高質(zhì)量金屬\有機物熱蒸發(fā)系統(tǒng) - nanoPVD T15A

    nanoPVD T15A是Moorfield Nanotechnology推出的 nanoPVD系列中新的型號，高腔體設(shè)計方案為熱蒸發(fā)而設(shè)計，確保薄膜均勻度，大可生長4英寸的薄膜樣品。近年時間在英國安裝就有十幾套，劍橋大學、巴斯大學、?？巳髮W、倫敦瑪麗女王大學等都是該設(shè)備的用戶。

    系統(tǒng)可以配備低溫蒸發(fā)(LTE)和標準電阻蒸發(fā)源，分別用于沉積有機物和金屬薄膜。低熱容有機物蒸發(fā)源具有高精度的控制電源，可以精準的控制蒸發(fā)條件制備高質(zhì)量的有機物薄膜。金屬源采用盒式屏蔽模式，可以有效的減少交叉污染等問題。智能的控制系統(tǒng)和靈活的配置方案使PVD-T15A廣泛應用于材料研究域。

    nanoPVD T15A可用于制備高質(zhì)量的金屬、有機物薄膜和異質(zhì)結(jié)等材料?？蓱糜趥鹘y(tǒng)材料科學和新型的OLED（有機發(fā)光二管）、OPV（有機光伏材料）和 OFET（有機場效應管）域。

用戶單位