| 产 品 说 明 |
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MF-U
176 系列 — 高倍率多功能测量显微镜
偏光观察：
观察过滤后只有一个方向振动的光。用于观察具有特
殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
微分干涉对比观察：
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时
十很有效。
暗视场观察：
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比
度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察：
zui普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
特点
? 亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪
烁的正像。
? 使用长工作距离的目镜，放大倍率可达
20X (总倍率：4000X)。
? 和高级检测显微镜一样采用校正光学系
统(FS 系列)。
? 亮／暗视场观察，偏光观察和微
分头干涉对比 (DIC) 观察。
? 使用立柱两侧的微调／粗调旋钮
进行调焦和测量。
? 调零开关 (X 轴和 Y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
? 带有镜头旋转盘。
? 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳。
技术参数
观察图像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可调瞳距：51 -
76mm), 1X 光管镜头、
双目目镜 ( 俯角：30o),
十字投影法、带有TV 插板、
光通比、(目镜 /TV 插板：50/50)
目镜 : 10X (视场直径：24mm),
可选 : 15X, 20X
转盘 (选件): 手动或电动旋转盘
物镜 (选件): 从 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物镜
(详见 384 页)
轮廓照明
? 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统
? 功能 : 光强度可调、无级亮度调整
表面照明
? 光源 : 卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统
? 功能 : 光强度可调、无级亮度调整
显示装置 :
? 轴数 : 2 轴或 3 轴
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 调零、方向转换、
数据输出 (通过 RS-232C 接口)
电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
505B: 50 x 50mm
XY 工作台选择(行程范围)
1010B: 100 x 100mm
2010B: 200 x 100mm
2017B: 200 x 170mm
4020B: 400 x 200mm
MF-UB3017B
XY 工作台移动范围：300 x 170mm
(带有可选旋转盘、目镜和光纤照明)369
选件
378-857: 15X 目镜套装 (视场范围：16mm)
378-858: 20X 目镜套装 (视场范围：12mm)
––––––: 物镜 (详见 384 页)
378-018: 手动 BF 旋转盘
378-116: 电动 BF 旋转盘
176-211: 手动 BF/DF 旋转盘
378-210: 电动 BF/DF 旋转盘
––––––: 分划板 (详见 366 页)
178-092: 偏振器
378-076: 用于 100X, SL80X, SL50X 目镜的微分干涉
对比装置
378-078: 用于50X, SL20X 目镜的微分干涉对比装置
378-079: 用于 20X 目镜的微分干涉对比装置
378-080: 用于 10X, 5X 目镜的微分干涉对比装置
12AAA643: ND2 型彩色滤光片
12AAA644: ND8 型彩色滤光片
12AAA645: GIF 型滤光片
12AAA646: LB80 型彩色滤光片
375-054: 0.5X 相机转向镜 (带有 C-mount 适配器)
970441: C-mount 适配器
513667: 卤素灯泡 (24V, 50W)
12BAB345: 卤素灯泡 (长寿型、24V, 50W)
517181: 卤素灯泡 (24V, 100W)
12BAD602: 卤素灯泡 (高亮度型、24V, 100W)
176-308: 防振台架
176-309: 安装台架
375-056: 读数尺
12AAA165: 镜头清洗工具
12AAA846: 脚踏开关
照明元件 (详见 373 页)
176-315: 卤素照明装置 (12V, 100W)
176-316: 卤素照明装置 (12V, 150W)
176-343: 双光纤照明装置
12AAG806: GIF 型彩色滤光片 (用于 176-315)
12AAG807: LB80 型彩色滤光片 (用于 176-315)
固定和工作台附件 (详见 363 页)
176-107: 带有夹钳的支架 *
172-378: 带有夹钳的 V 型块 *
(zui大工件直径：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋转式中心架 *
(zui大工件直径：80mm)
176-305: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
505B/1010B/1020B 型号
176-306: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
1720B/1730B 型号
*1020B 型号需要与固定适配器(176-310) 配合使用
1720B/1730B 型号需要与固定适配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 数据处理器
(详见374 页)
12AAA807: 连接电缆套装
Focus pilot FP-05
辅助聚焦系统
(详见372 页)
Vision Unit
基于PC 的视像测量系统
(详见376 页)
设备选型
单位：mm
尺寸
性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
货号 MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作台移动范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法 线性编码器 (2 轴型：X / Y 轴、3 轴型：X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC 时) XY 轴：(2.5+0.02L)μm, L 无负载测量长度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 时) Z 轴：(5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有快速断开功能的 X 和 Y 轴
XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀(如：176-567A):
A 适于UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，无后缀适于JIS/100V
设备型号 MF-UA 型 MF-UB 型 MF-UC 型 MF-UD 型
观察类型 亮视场 (BF) 亮视场 (BF) 亮／暗视场 (BF/DF) 亮／暗视场 (BF/DF)
测量系统 X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴) X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴) |
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销售分布在北京 天津 石家庄 秦皇岛 太原 呼和浩特 沈阳 大连 丹东 长春 哈尔滨 上海 南京 连云港 杭州 合肥 福州 厦门 南昌 济南 青岛 郑州\ 武汉 长沙 广州 深圳 南宁 成都 重庆 贵阳 昆明 拉萨 西安 兰州 西宁 满洲里 银川 乌鲁木齐 宁波 桂林 ?？?广东 广西、浙江 福建 江苏 安徽 江西 湖北 湖南 云南 贵州 四川 青海 陕西、甘肃 宁夏 河南 河北 山东 山西 辽宁 吉林 黑龙江 内蒙古 新疆 西藏 海南等地
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