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國產(chǎn)SOI：膜層厚度可以按照客戶需求加工

①頂層2um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1 ,  P型，總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um

②頂層3um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1，P型，總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um

電阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm；

進(jìn)口SOI：

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SOI

φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp