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貨物所在地:安徽合肥市
更新時間:2025-05-16 21:00:08
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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
技術參數(shù)
主要特點 |
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EQ-TM106-1監(jiān)測組件 |
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EQ-TM106-2顯示儀 |
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EQ-TM106-3探頭 |
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標準配件 |
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質保期 | 一年質保期,終身維護 |