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柜式臭氧消毒器由无油空机、、空气干燥机、臭氧放电室、高压电源、静态混合器、控制系统等部分组成。

臭氧是氧的同素异性体，常温下是一种不稳定的淡紫色气体，有刺激腥味，微量时具有一种“清新”气味。臭氧具有*的氧化能力，在水中的氧化还原电位 2.07V ，仅次于氟电位 2.87V ，居第二位，它的氧化能力高于氯（ 1.36V ）、二氧化氯（ 1.5V ）。正因为臭氧具有强烈的氧化性，所以它对细菌、霉菌、病毒具有强烈的杀灭性，这种作用通常是物理、化学、生物学方面的综合效果。臭氧灭活病毒是通过直接破坏或分解细胞壁，迅速扩散进入细胞里，氧化了细胞内酶或 RNA、DNA物质完成的.臭氧很容易同细菌的细胞壁中的脂蛋白或细胞膜中的磷脂质、蛋白质发生化学反应，从而使细菌的细胞壁和细胞受到破坏（即所谓的溶菌作用），细胞膜的通透性增加，细胞内物质外流，使其失去活性。
　　柜式臭氧消毒器设备内的空气干燥器以美国进口沸石分子筛为吸附剂，用变压吸附法（ PSA ）将空气中的氧气与氮气分离，并滤除空气中的有害物质，从而获取富氧气，并大大提高臭氧产量、纯度和效率。然后，通过气液混合泵加静态混合器的气水强力混合把高浓度的臭氧充分溶解在水中，形成具有杀菌消毒能力的高浓度臭氧水（臭氧和臭氧在水中分解的中间产物氢氧氧基（OH）协同作用，具有很强的氧化性可以杀菌、消毒，而且反应安全、速度快、无残留。）。