FFU全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤网单元”。确切地说是一种自带动力、具有过滤功效的?？榛哪┒怂头缱爸?。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。
该机组设计整体灵活，便于与专用型吊顶骨架以及其他一些合适的骨架配合使用。它适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其他对空气中污染有严格控制要求的地方。
FFU选型的要点：
FFU 的主要参数：尺寸(mm)，面风速(m/s)，机外余压(Pa)，噪音(dBA)，功耗(W)，振动(mm/s)，寿命(hours)等。
◆尺寸-目前，国内、外常用的模数有1200X600mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mm。
◆材质-根据使用环境及成本选择，目前常用镀铝锌材质，能满足洁净室的环境需求(防腐蚀)且成本低；
◆风量或风速-根据换气量及尺寸换算出面风速，一般范围在0.3~0.45m/s；
◆静压-根据过滤器规格及风道的结构阻力。 FFU 的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。当 过滤器 为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同 FFU 的机外余压均在100Pa左右，有的高达130Pa。
◆滤网-应不同制程需求，常用到H13,H14,U15和U16甚至U17的过滤器(欧规)，有时应生产工艺的需求会要求采用低硼的材料，以进口品居多。
◆马达-AC(交流电)和DC(直流电)两种。一般来讲Class 1000~100,000的洁净室常用ACFFU，而洁净度较高区域则用DC FFU。就是因为高等级洁净室对于温湿度要求更为严格，采有DC FFU 就能应用软件控制，精确度较高。对于FFU的控制系统在下面另阐述。
◆振动-一般是符合德规G2.5标准，因为微振动的控制对于生产工艺非常重要。
◆噪音-一般设定为54dB(A)@1.5m，即距 过滤器 下表面1.5m处噪音值小于54dB(A)。FFU的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在50dB(A)。
◆绝缘等级-一般为Class E,B或F。
◆轴承寿命-一般为L10≧40,000hours,即10%的轴承损坏的最大使用时间不小于40,000hours。
◆能效比-耗电量与风量的比值，级效比值越低越节能
