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測量技術的發(fā)展趨勢

時間:2012-11-1閱讀:976
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      測量技術與儀器涉及所有物理量的測量(德國索特測量儀器),對于材料、工程科學、能源科學關系密切。目前的發(fā)展趨勢有以下幾點:
  *,以自然基準溯源和傳遞,同時在不同量程實現(xiàn)比對。如果自己沒有能力比對就要依靠其它國家。

  第二點,是高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm,并正向0.18μm過渡,2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那么就要求10nm量級的精度,而且晶片尺寸還在增大,達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方,相應的激光穩(wěn)頻精度應該是10的-9次方數(shù)量級。

  第三是高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上,(德國科恩天平)上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領,其原因是后者的速度達到了1m/sec。

  第四,高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。

  第五,標準化。通訊接口過去常用GPIB,RS232,(索特測厚儀)目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI?,F(xiàn)在,技術者設法控制技術標準,參與標準制訂是儀器開發(fā)的基礎研究工作之一。

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