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PC在线气体配比器
产品用途;
PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料;
产品型号 | PQ-PCS4Z | PQ-C4ZS | |
控制方式 | PC软件在线控制 | 7寸触摸屏智能调节 | |
产品类型 | 低零漂及温漂型/超高精度型/数字PC控制/快响应型/ | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | |
可选量程 | 5sccm-50slm(气体量程根据客户需要可选) | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | |
产品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) | ±1％F.S | |
重复精度 | ±0.2% FS | ||
线性 | ±0.5% F.S. | ±0.5% F.S.
| |
响应时间 | ≤1sec | ≤2sec | |
工作温度范围 | (5~45)°C | ||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||
*功耗 | 40W | ||
进气口压 | ≤0.6MPa | ||
连接管道 | 316不锈钢管道 | ||
截止阀类型 | 手动截止阀 | ||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | ||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa机械压力表 | ||
时间设定 | 0-32000分钟 | ||
通信口 | USB-485 | ||
程序控制 | 多段程序控制上位机软件控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |
气体转换 | 有（可更换气体并设置气体系数） | ||
压力显示 | 不锈钢机械压力表 | ||
气体混合罐 | 有（内部添加扰流挡片混合均匀） | ||
气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温-350℃可调） | ||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | ||
抗电磁干扰 | 有 | ||
外形尺寸 | 550X380X400 | ||
重量 | 18KG～20KG | ||
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